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光纤激光加速度传感器
张文涛; 李 芳; 刘育梁
专利权人中国科学院半导体研究所
公开日期2011-08-31
授权国家中国
专利类型发明
摘要本发明公开了一种光纤激光加速度传感器,包括:作为光纤激光加速度传感器主体的支撑筒,该支撑筒一端开口,另一端的中心具有一第一小孔,用于固定光纤激光器;安装在所述支撑筒开口端的端盖,用于固定并保护光纤激光加速度传感器的内部结构,并引出光纤激光器的尾纤;固定在支撑筒开口端与端盖之间的弹性膜片结构,用于在加速度作用下产生变形;安装在弹性膜片结构中央的质量块,用于增加弹性膜片结构在加速度作用下产生的变形;贯穿所述弹性膜片结构和质量块的光纤激光器,用于测量加速度。本发明提高了光纤激光加速度传感器的测量灵敏度,减小了光纤激光加速度传感器的体积,改善了工艺的一致性。
部门归属光电系统实验室
专利号CN200810224821.8
语种中文
专利状态公开
申请号CN200810224821.8
专利代理人周国城
文献类型专利
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/22565
专题光电系统实验室
推荐引用方式
GB/T 7714
张文涛,李 芳,刘育梁. 光纤激光加速度传感器. CN200810224821.8.
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