| 光纤激光加速度传感器 |
| 张文涛; 李 芳; 刘育梁
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专利权人 | 中国科学院半导体研究所
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公开日期 | 2011-08-31
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授权国家 | 中国
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专利类型 | 发明
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摘要 | 本发明公开了一种光纤激光加速度传感器,包括:作为光纤激光加速度传感器主体的支撑筒,该支撑筒一端开口,另一端的中心具有一第一小孔,用于固定光纤激光器;安装在所述支撑筒开口端的端盖,用于固定并保护光纤激光加速度传感器的内部结构,并引出光纤激光器的尾纤;固定在支撑筒开口端与端盖之间的弹性膜片结构,用于在加速度作用下产生变形;安装在弹性膜片结构中央的质量块,用于增加弹性膜片结构在加速度作用下产生的变形;贯穿所述弹性膜片结构和质量块的光纤激光器,用于测量加速度。本发明提高了光纤激光加速度传感器的测量灵敏度,减小了光纤激光加速度传感器的体积,改善了工艺的一致性。 |
部门归属 | 光电系统实验室
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专利号 | CN200810224821.8
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语种 | 中文
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专利状态 | 公开
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申请号 | CN200810224821.8
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专利代理人 | 周国城
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文献类型 | 专利
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条目标识符 | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/22565
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专题 | 光电系统实验室
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推荐引用方式 GB/T 7714 |
张文涛,李 芳,刘育梁. 光纤激光加速度传感器. CN200810224821.8.
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