| 用于电子束蒸发薄膜的样品夹具 |
| 刘万峰; 王利军; 刘峰奇; 王占国
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| 专利权人 | 中国科学院半导体研究所
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| 公开日期 | 2011-08-31
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| 授权国家 | 中国
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| 专利类型 | 发明
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| 摘要 | 本发明公开了一种用于电子束蒸发薄膜的样品夹具，包括：一挡片，该挡片主体为长方体，在该挡片的一侧面开有一凹槽，用以固定样品一边；该长方体挡片的正面两端各一螺纹孔，用以将挡片固定在样品托上；一样品托，该样品托具有一供挡片滑动的凹槽，且该样品托中间有一方形通孔，该方形通孔两侧各有一个可穿过螺丝的矩形通孔，以便于用螺丝将挡片和样品托固定在一起，样品被夹在挡片的凹槽和样品托之间。本发明提供的用于电子束蒸发薄膜的样品夹具，能够固定不同大小的样品，只要样品有一边整齐就可以固定牢靠，可以适用于尺寸变化大，边缘不规则的薄样品，而且装卸方便。 |
| 部门归属 | 中科院半导体材料科学重点实验室
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| 专利号 | CN200810240352.9
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| 语种 | 中文
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| 专利状态 | 公开
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| 申请号 | CN200810240352.9
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| 专利代理人 | 周国城
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| 文献类型 | 专利
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| 条目标识符 | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/22291
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| 专题 | 中科院半导体材料科学重点实验室
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推荐引用方式
GB/T 7714 |
刘万峰,王利军,刘峰奇,等. 用于电子束蒸发薄膜的样品夹具. CN200810240352.9.
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