SEMI OpenIR  > 集成光电子学国家重点实验室
激光程控气体浓度检测系统及检测方法
孙可; 谢亮; 鞠昱; 韩威; 王欣; 祝宁华
Rights Holder中国科学院半导体研究所
Date Available2011-08-30
Country中国
Subtype发明
Abstract一种激光程控气体浓度检测系统,包括:一程序控制处理器;一程控电流源通过连线与程序控制处理器通讯;一柱形气室的一端的中心安装有法兰装置;一长波长激光器的一端通过光纤将光耦合进柱形气室的法兰中,另一端与程控电流源连接;一光电探测器安装在柱形气室的另一端;一微电流检测计采集光电探测计上的电流信号,该微电流检测计与程序控制处理器通讯;一信号发生器将调制信号加载在程控电流源上,该信号发生器与程序控制处理器通讯;一锁相放大器采集光电探测计上的信号,该锁相放大器与程序控制器通讯。
metadata_83集成光电子学国家重点实验室
Patent NumberCN200910237838.1
Language中文
Status公开
Application NumberCN200910237838.1
Patent Agent汤保平
Document Type专利
Identifierhttp://ir.semi.ac.cn/handle/172111/22011
Collection集成光电子学国家重点实验室
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GB/T 7714
孙可,谢亮,鞠昱,等. 激光程控气体浓度检测系统及检测方法. CN200910237838.1.
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