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SEMI OpenIR  > 中国科学院半导体研究所(2009年前)  > 会议论文

题名: Fabrication of 1.3 mu m Si-based MEMS tunable optical filter
作者: Zuo YH;  Huang CJ;  Cheng BW;  Mao RW;  Luo LP;  Gao JH;  Bai YX;  Wang LC;  Yu JZ;  Wang QM
出版日期: 2002
会议日期: OCT 17-18, 2002
摘要: In this paper we report the fabrication of 1.3 mum Si-based MEMS tunable optical filter, by surface micromaching. Through wet etching of polyimide sacrificial layer, a tunable Fabry-Perot filter was successfully fabricated. We make the capacitance measurement of the prototype device, compare the experimental curve with the theoretical one, and explain the difference between them.
会议名称: Conference on MEMS/MOEMS Technologies and Applications
KOS主题词: Cavity
会议文集: MEMS/MOEMS TECHNOLOGIES AND APPLICATIONS, 4928
专题: 中国科学院半导体研究所(2009年前)_会议论文

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推荐引用方式:
Zuo YH; Huang CJ; Cheng BW; Mao RW; Luo LP; Gao JH; Bai YX; Wang LC; Yu JZ; Wang QM .Fabrication of 1.3 mu m Si-based MEMS tunable optical filter .见:SPIE-INT SOC OPTICAL ENGINEERING .MEMS/MOEMS TECHNOLOGIES AND APPLICATIONS, 4928,1000 20TH ST, PO BOX 10, BELLINGHAM, WA 98227-0010 USA ,2002,73-76
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