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SEMI OpenIR  > 中国科学院半导体研究所(2009年前)  > 会议论文

题名: MMI optical couplers and switches with SOI technology
作者: Yu JZ;  Wang XL;  Liu JW;  Yan QF;  Xia JS;  Fan ZC;  Wang ZT;  Chen SW
出版日期: 2003
会议日期: SEP 12-14, 2003
摘要: MMI (multimode interference) coupler, modulator and switch based on SOI (silicon- on-insulator) have been become more and more attractive in optical systems since they show important performances. SiO2 thin cladding layers (<1.0mum) can be used in SOI waveguide due to the large index step between Si and SiO2, making them compatible with the VLSI technology. The design and fabrication of multimode interference (MMI) optical coupler, modulator and switche in SOI technology are presented in the paper. The results demonstrated that the modulator has an extinction ratio of -11.0dB and excess loss of -2.5dB, while the optical switch has a crosstalk of -12.5dB and responding time of less than 20 mus.
会议名称: 6th Chinese Optoelectronics Symposium
KOS主题词: Wave guides
会议文集: PROCEEDINGS OF THE SIXTH CHINESE OPTOELECTRONICS SYMPOSIUM
专题: 中国科学院半导体研究所(2009年前)_会议论文

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推荐引用方式:
Yu JZ; Wang XL; Liu JW; Yan QF; Xia JS; Fan ZC; Wang ZT; Chen SW .MMI optical couplers and switches with SOI technology .见:IEEE .PROCEEDINGS OF THE SIXTH CHINESE OPTOELECTRONICS SYMPOSIUM,345 E 47TH ST, NEW YORK, NY 10017 USA ,2003,251-254
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