电学测试的汞探针装置
纪 刚; 孙国胜; 宁 瑾; 刘兴昉; 赵永梅; 王 雷; 赵万顺; 曾一平; 李晋闽
2010-08-12
专利权人中国科学院半导体研究所
公开日期2010-02-10 ; 2010-08-12
授权国家中国
专利类型发明
摘要一种电学测试的汞探针装置,其特征在于,包括:一基座,该基座为扁平状的圆柱体,在基座的中心处纵向开有一细水银槽,在基座的中心处细水银槽的周围开有圆环形的水银槽;在基座的左侧圆柱体侧壁上开有一左水银槽,该左水银槽与圆环形的水银槽连通;与左水银槽相对的位置开有一右水银槽,该右水银槽与细水银槽垂直连通;与左、右水银槽垂直,在基座的上面分别开有一与左、右水银槽连通的左、右水银通道;一左推杆,该左推杆的一端插入在左水银槽内;一右推杆,该右推杆的一端插入在右水银槽内。
申请日期2008-08-06
语种中文
专利状态实质审查的生效
申请号CN200810118013.3
专利代理人汤保平:中科专利商标代理有限责任公司
文献类型专利
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/13388
专题中国科学院半导体研究所(2009年前)
推荐引用方式
GB/T 7714
纪 刚,孙国胜,宁 瑾,等. 电学测试的汞探针装置[P]. 2010-08-12.
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