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SEMI OpenIR  > 中国科学院半导体研究所(2009年前)  > 专利

专利名称: 在特殊高低温条件下对光电器件进行测试的装置及方法
发明人: 杨晓红;  韩 勤;  提刘旺
授权日期: 2010-8-12
摘要: 本发明公开了一种在特殊高低温条件下对光电器件进行测试的装置及方法。该方法是将标准器件与被测器件置于可精确控制温度的具有光窗口的真空杜瓦内,光信号可以通过光窗口出入杜瓦,被测器件与标准器件进行对比即可得到被测器件光电参数。该装置及方法可以测试光电器件在一定高低温范围内的光电参数,采用了具有光窗口的真空杜瓦作为器件测试环境,将器件置于真空杜瓦内真空腔的热沉上,热沉与冷源和热源相连接,光电器件的输出信号线与腔外测试系统相连。利用本发明,降低了在特殊高低温条件下对光电器件进行测试的复杂性,提高了测试的精确度,解决了温度过低时光窗口结霜的问题。
专题: 半导体研究所机构知识库_专利

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推荐引用方式:
杨晓红;韩 勤;提刘旺 ,在特殊高低温条件下对光电器件进行测试的装置及方法,CN200810223611.7 ,2008-09-27
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