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SEMI OpenIR  > 中国科学院半导体研究所(2009年前)  > 专利

专利名称: 光纤激光加速度传感器
发明人: 张文涛;  李 芳;  刘育梁
授权日期: 2010-8-12
摘要: 本发明公开了一种光纤激光加速度传感器,包括:作为光纤激光加速度传感器主体的支撑筒,该支撑筒一端开口,另一端的中心具有一第一小孔,用于固定光纤激光器;安装在所述支撑筒开口端的端盖,用于固定并保护光纤激光加速度传感器的内部结构,并引出光纤激光器的尾纤;固定在支撑筒开口端与端盖之间的弹性膜片结构,用于在加速度作用下产生变形;安装在弹性膜片结构中央的质量块,用于增加弹性膜片结构在加速度作用下产生的变形;贯穿所述弹性膜片结构和质量块的光纤激光器,用于测量加速度。本发明提高了光纤激光加速度传感器的测量灵敏度,减小了光纤激光加速度传感器的体积,改善了工艺的一致性。
专题: 半导体研究所机构知识库_专利

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张文涛;李 芳;刘育梁 ,光纤激光加速度传感器,CN200810224821.8 ,2008-10-22
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