学科主题半导体材料
硅表面性质的晶向关系
邢益荣
获奖类别院自然科学奖
获奖等级三等奖
1993
关键词硅表面
语种中文
文献类型成果
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/11054
专题中国科学院半导体研究所(2009年前)
推荐引用方式
GB/T 7714
邢益荣. 硅表面性质的晶向关系. 1993.
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