学科主题半导体材料
微机控制光加热外延炉的研制和硅外延技术研究
梁骏吾; 杨辉; 郭钟光; 邓礼生; 郑红军
获奖类别院科技进步奖
获奖等级二等奖
1992
关键词硅外延
语种中文
文献类型成果
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/11028
专题中国科学院半导体研究所(2009年前)
推荐引用方式
GB/T 7714
梁骏吾,杨辉,郭钟光,等. 微机控制光加热外延炉的研制和硅外延技术研究. 1992.
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