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SEMI OpenIR  > 中国科学院半导体研究所(2009年前)  > 会议论文

题名: A practical package technique for FBG-based temperature independent sensor
作者: Tian, K;  Liu, YL;  Wang, QM
出版日期: 2004
会议日期: OCT 18-21, 2004
摘要: A practical package technique for temperature independent Fiber Bragg grating sensor is proposed. A uniform strength cantilever with two FBG attached on the upper and lower surfaces was utilized as the key element. By detecting two wavelengths differential output, the applied force can be obtained and temperature effects can be eliminated. Experiment results show the sensor has linear response and output signal uctuates less than 12pm as temperature changes from -10 degrees C to 50 degrees C. The maximum thermal error is less than 0.3% of the full measurement range.
会议名称: 7th International Conference on Solid-State and Integrated Circuits Technology
KOS主题词: Grilles;  Diffraction gratings
会议文集: 20047TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE AND INTEGRATED CIRCUITS TECHNOLOGY
专题: 中国科学院半导体研究所(2009年前)_会议论文

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Tian, K; Liu, YL; Wang, QM .A practical package technique for FBG-based temperature independent sensor .见:IEEE .20047TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE AND INTEGRATED CIRCUITS TECHNOLOGY,345 E 47TH ST, NEW YORK, NY 10017 USA ,2004,VOLS 1- 3 PROCEEDINGS: 1908-1910
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