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SEMI OpenIR  > 中国科学院半导体研究所(2009年前)  > 会议论文

题名: The status, limits and countermeasures in the development of the silicon microelectronics industry
作者: Liu, ZL
出版日期: 2004
会议日期: OCT 18-21, 2004
摘要: In this paper.. the status and limits in the development of the silicon microelectronics industry are presented briefly. The key countermeasures given are use of the new structure materials and the new device structures.
会议名称: 7th International Conference on Solid-State and Integrated Circuits Technology
KOS主题词: Metal oxide semiconductors, Complementary
会议文集: 2004 7TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE AND INTEGRATED CIRCUITS TECHNOLOGY
专题: 中国科学院半导体研究所(2009年前)_会议论文

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Liu, ZL .The status, limits and countermeasures in the development of the silicon microelectronics industry .见:IEEE .2004 7TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE AND INTEGRATED CIRCUITS TECHNOLOGY,345 E 47TH ST, NEW YORK, NY 10017 USA ,2004,VOLS 1- 3 PROCEEDINGS: 255-257
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