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GaAs/Si低温直接键合技术研究 学位论文
, 北京: 中国科学院大学, 2017
作者:  刘雨生
Adobe PDF(1410Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：819/40  |  提交时间：2017/06/01
Gaas/si  直接键合  低温  等离子体活化