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AlN材料外延技术及其应用研究 学位论文
, 北京: 中国科学院大学, 2017
作者:  杜泽杰
Adobe PDF(2920Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：1114/62  |  提交时间：2017/05/27
金属有机化合物气相沉积（mocvd）  深紫外led  氮化铝（aln）  成核层