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基于n-InP的单片集成的光逻辑门及其制作方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN200910093299.9, 公开日期: 2011-08-31
发明人:  张云霄;  廖栽宜;  周帆;  赵玲娟;  王圩
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降低衬底表面残留杂质浓度的方法 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2013-04-03, 2013-04-03
发明人:  刘京明;  赵有文;  王凤华;  杨凤云
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