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低偏角碳化硅同质/异质外延生长研究 学位论文
, 北京: 中国科学院半导体研究所, 2016
作者:  闫果果
Adobe PDF(3768Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：1021/27  |  提交时间：2016/12/05