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谐振式微机电系统机翼风力传感器及其制作方法 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2013-05-22
发明人:  钟卫威;  司朝伟;  韩国威;  宁瑾;  杨富华
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调节电容式MEMS陀螺仪检测端谐振频率的电路和方法 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2013-06-05
发明人:  韩国威;  司朝伟;  钟卫威
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