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中国科学院半导体研究所机构知识库
Knowledge Management System Of Institute of Semiconductors,CAS
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中国科学院半导体研究... [1]
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专利 [1]
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2007 [1]
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提高硅薄膜致密性的制备方法
专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2007-03-28, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
发明人:
谭满清
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赵妙
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提交时间：2009/06/11
