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利用相对易腐蚀的金属制备另一种金属图形的剥离方法 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2016-08-30
发明人:  杨健;  司朝伟;  韩国威;  宁瑾;  赵永梅;  梁秀琴
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环形检测电极面内伸缩谐振器设计及其制备方法 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2016-09-12
发明人:  张萌;  宁瑾;  司朝伟;  韩国威;  赵永梅
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应用在MEMS器件中的弱耦合弹性梁结构 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2016-08-30
发明人:  司朝伟;  韩国威;  宁瑾;  赵永梅;  杨富华
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采用晶圆级封装的MEMS器件 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2016-08-30
发明人:  司朝伟;  韩国威;  宁瑾;  赵永梅;  杨富华
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在衬底上制备多级台阶的方法 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2016-08-30
发明人:  杨健;  司朝伟;  韩国威;  宁瑾;  赵永梅;  梁秀琴;  王晓东;  杨富华
Adobe PDF(305Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：535/1  |  提交时间：2016/08/30