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倏逝波耦合型单一载流子行波光电探测器的制作方法 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2010-08-12, 公开日期: 2009-12-30, 2010-08-12
发明人:  张云霄;  廖栽宜;  赵玲娟;  朱洪亮;  潘教青;  王 圩
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