Chinese | English

Search in the results

SEMI OpenIR
(Note: the search results are based on claimed items)

Browse/Search Results:  1-4 of 4 Help

Filters        
Selected(0)Clear Items/Page:    Sort:
一种纳米尺度镍金空气桥的制备方法 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2009-02-25, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
Inventors:  张杨;  刘剑;  李艳;  杨富华
Adobe PDF(539Kb)  |  Favorite  |  View/Download：1478/213  |  Submit date：2009/06/11
采用光刻和干法刻蚀制作倾斜侧壁二氧化硅结构的方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN200910081983.5, 公开日期: 2011-08-31
Inventors:  唐龙娟;  杨晋玲;  解婧;  李艳;  杨富华
Adobe PDF(415Kb)  |  Favorite  |  View/Download：2179/287  |  Submit date：2011/08/31
以光刻胶为掩膜对二氧化硅进行深刻蚀的方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN200910081225.3, 公开日期: 2011-08-31
Inventors:  李艳;  杨富华;  裴为华
Adobe PDF(351Kb)  |  Favorite  |  View/Download：2202/278  |  Submit date：2011/08/31
采用13.56MHz射频功率源淀积氮化硅薄膜的方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN200910081224.9, 公开日期: 2011-08-31
Inventors:  李艳;  杨富华;  唐龙娟;  朱银芳
Adobe PDF(311Kb)  |  Favorite  |  View/Download：2177/262  |  Submit date：2011/08/31