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倒装结构的氮化镓基高电子迁移率晶体管的制作方法 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2016-08-30
发明人:  纪攀峰;  谢海忠;  梁萌;  马平;  张韵;  王军喜;  李晋闽
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