中国科学院半导体研究所机构知识库(SEMI OpenIR): 检索

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	无权访问的条目期刊论文作者: 徐晓华; 牛智川; 倪海桥; 徐应强; 张纬; 贺正宏; 韩勤; 吴荣汉; 江德生 Adobe PDF(272Kb) \| 收藏 \| 浏览/下载：901/224 \| 提交时间：2010/11/23
	无权访问的条目期刊论文作者: 朱天伟; 徐波; 何军; 赵凤瑷; 张春玲; 谢二庆; 刘峰奇; 王占国 Adobe PDF(372Kb) \| 收藏 \| 浏览/下载：989/267 \| 提交时间：2010/11/23
	无权访问的条目期刊论文作者: 马智训; 廖显伯; 何杰; 程文超; 岳国珍; 王永谦; 刁宏伟; 孔光临 Adobe PDF(402Kb) \| 收藏 \| 浏览/下载：804/246 \| 提交时间：2010/11/23

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