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| 碳化硅射频微电子机械系统滤波器的制作方法 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2009-07-01, 公开日期: 3999
发明人: 赵永梅; 宁 瑾; 孙国胜; 王 亮; 刘兴昉 ; 赵万顺; 王 雷; 李晋闽; 曾一平
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| 一种用于微电子机械系统的碳化硅微通道的制作方法 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2009-07-01, 公开日期: 3999
发明人: 刘兴昉; 孙国胜
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| 多晶立方相碳化硅微机电系统谐振器件及其制作方法 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2009-06-03, 公开日期: 3996
发明人: 王 亮; 宁 瑾; 孙国胜; 王 雷; 赵万顺; 赵永梅; 刘兴昉
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| 氧化硅上制备低阻碳化硅的方法 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2009-05-27, 公开日期: 3996
发明人: 赵永梅; 孙国胜; 宁 瑾; 王 亮; 刘兴昉; 赵万顺; 王 雷; 李晋闽; 曾一平
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| 图形衬底上生长碳化硅厚膜的方法 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2009-05-27, 公开日期: 3996
发明人: 赵永梅; 孙国胜; 刘兴昉; 王 亮; 王 雷; 赵万顺; 李晋闽; 曾一平
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| 无权访问的条目 期刊论文
作者: Ji Gang; Sun Guosheng; Liu Xingfang; Wang Lei; Zhao Wanshun; Zeng Yiping; Li Jinmin
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