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基于湿法刻蚀工艺设计和制作SOI 热光开关和矩阵光开关 学位论文
, 北京: 中国科学院半导体研究所, 2005
作者:  刘敬伟
Adobe PDF(3677Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：735/32  |  提交时间：2009/04/13