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一种晶锭与热解氮化硼坩埚脱离方法及设备 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2007-01-03, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
发明人:  高永亮;  惠峰;  王文军
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一种热解氮化硼坩埚表层镀膜方法及装置 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2007-01-03, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
发明人:  高永亮;  惠峰;  王文军
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Gao JX (Gao Jian-Xia);  Song GF (Song Guo-Feng);  Guo BS (Guo Bao-Shan);  Gan QQ (Gan Qiao-Qiang);  Chen LH (Chen Liang-Hui);  Gao, JX, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, Nano Optoelect Lab, Beijing 100083, Peoples R China. 电子邮箱地址: jxgao@red.semi.ac.cn
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