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作者:  Feng Zhang;  Guosheng Sun;  Huolin Huang;  Zhengyun Wu;  Lei Wang;  Wanshun Zhao;  Xingfang Liu;  Guoguo Yan;  Liu Zheng;  Lin Dong;  Yiping Zeng
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集成傅里叶变换红外原位监测系统的原子层沉积装置 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN102492939A, 公开日期: 2012-08-29, 2012-08-29, 2012-08-29
发明人:  张峰;  孙国胜;  王雷;  赵万顺;  刘兴昉;  闫果果;  曾一平
Adobe PDF(523Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：1215/230  |  提交时间：2012/08/29