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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Deng QW;  Wang XL;  Yang CB;  Xiao HL;  Wang CM;  Yin HB;  Hou QF;  Li JM;  Wang ZG;  Hou X;  Deng, QW, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, Ctr Mat Sci, POB 912, Beijing 100083, Peoples R China. daven@semi.ac.cn
Adobe PDF(459Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：2271/623  |  提交时间：2011/07/05
无权访问的条目 期刊论文
作者:  Hou QF;  Wang XL;  Xiao HL;  Wang CM;  Yang CB;  Yin HB;  Deng QW;  Li JM;  Wang ZG;  Hou X;  Hou, QF, Chinese Acad Sci, Ctr Mat Sci, Inst Semicond, POB 912, Beijing 100083, Peoples R China. qfhou@semi.ac.cn
Adobe PDF(485Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：2252/626  |  提交时间：2011/07/05
无权访问的条目 期刊论文
作者:  Yin, Haibo;  Wang, Xiaoliang;  Ran, Junxue;  Hu, Guoxin;  Zhang, Lu;  Xiao, Hongling;  Li, Jing;  Li, Jinmin;  Yin, H.(hbyin@semi.ac.cn)
Adobe PDF(1040Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：1045/232  |  提交时间：2012/06/14
无权访问的条目 期刊论文
作者:  Sun LL (Sun Lili);  Liu C (Liu Chao);  Li JM (Li Jianming);  Wang JX (Wang Junxi);  Yan FW (Yan Fawang);  Zeng YP (Zeng Yiping);  Li JM (Li Jinmin);  Sun, LL, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, Beijing 100083, Peoples R China. 电子邮箱地址: lilisun@semi.ac.cn
Adobe PDF(505Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：1205/303  |  提交时间：2010/05/07
无权访问的条目 期刊论文
作者:  Deng Qingwen;  Wang Xiaoliang;  Xiao Hongling;  Ma Zeyu;  Zhang Xiaobin;  Hou Qifeng;  Li Jinmin;  Wang Zhanguo
Adobe PDF(525Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：1206/182  |  提交时间：2011/08/16
用于金属有机物化学沉积设备的扇形进气喷头 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN201010033960.X, 公开日期: 2011-08-31, 2011-08-31, 2011-08-31
发明人:  胡国新;  王晓亮;  冉军学;  肖红领;  殷海波;  张露;  李晋闽
Adobe PDF(346Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：1283/177  |  提交时间：2011/08/31
一种化学气相沉积装置 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN201010162506.4, 公开日期: 2011-08-31
发明人:  段瑞飞;  曾一平;  王军喜;  冉军学;  胡国新;  羊建坤;  梁勇;  路红喜;  李晋闽
Adobe PDF(392Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：1573/272  |  提交时间：2011/08/31
用于金属有机物化学沉积设备的衬托盘及其制作工艺 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN201010033965.2, 公开日期: 2011-08-31
发明人:  殷海波;  王晓亮;  胡国新;  冉军学;  肖红领;  张露;  李晋闽
Adobe PDF(510Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：1331/239  |  提交时间：2011/08/31
一种碳化硅同质PIN微结构材料及其制作方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN200910237845.1, 公开日期: 2011-08-31
发明人:  孙国胜;  刘兴昉;  王雷;  赵万顺;  杨挺;  吴海雷;  闫果果;  曾一平;  李晋闽
Adobe PDF(406Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：1687/292  |  提交时间：2011/08/31
一种用于金属有机物化学气相沉积设备的进气喷头结构 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN201010269018.3, 公开日期: 2011-08-31
发明人:  冉军学;  胡国新;  梁勇;  王军喜;  段瑞飞;  曾一平;  李晋闽
Adobe PDF(756Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：1330/250  |  提交时间：2011/08/31