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ZnO基MEMS NO2 气体传感器的制备及性能优化研究 学位论文
工学硕士, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2023
作者:  卢晓锐
Adobe PDF(7894Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：198/1  |  提交时间：2023/07/03
血压监测 MEMS 压力传感器制备及可植入封装 学位论文
工程硕士, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2023
作者:  尤志伟
Adobe PDF(8420Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：278/1  |  提交时间：2023/07/03
基于Al-Sc触点MEMS开关的移相器研究 学位论文
工学硕士, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2023
作者:  张永康
Adobe PDF(5185Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：229/0  |  提交时间：2023/07/03
高精度MEMS陀螺仪与测控电路系统关键技术研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2022
作者:  胥鹏飞
Adobe PDF(10317Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：266/2  |  提交时间：2022/07/15
高精度MEMS陀螺仪与测控电路系统关键技术研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2022
作者:  胥鹏飞
Adobe PDF(10317Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：379/2  |  提交时间：2022/07/25
无权访问的条目 期刊论文
作者:  Tong, Xin;   Chen, Miao;   Yang, Fuhua
Adobe PDF(2233Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：0/0  |  提交时间：2022/05/19
无权访问的条目 期刊论文
作者:  Chen, Shuo;   Liu, Yuanyuan;   Jin, Zhen;   Tian, Huiping
Adobe PDF(9834Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：0/0  |  提交时间：2022/03/24
无权访问的条目 期刊论文
作者:  Xu, Pengfei;   Wei, Zhenyu;   Guo, Zhiyu;   Jia, Lu;   Han, Guowei;   Si, Chaowei;   Ning, Jin;   Yang, Fuhua
Adobe PDF(4556Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：0/0  |  提交时间：2022/07/26
无权访问的条目 期刊论文
作者:  Peng, Hong;   Lei, Chang;   Zheng, Shuzhen;   Zhao, Chengjian;   Wu, Chunyun;   Sun, Jieqiong;   Hu, Bin
Adobe PDF(3148Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：1/1  |  提交时间：2022/07/25
无权访问的条目 期刊论文
作者:  Xu, Pengfei;   Si, Chaowei;   He, Yurong;   Wei, Zhenyu;   Jia, Lu;   Han, Guowei;   Ning, Jin;   Yang, Fuhua
Adobe PDF(10261Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：0/0  |  提交时间：2022/05/09