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无权访问的条目 学位论文
作者:  熊迪
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氮化铝谐振式压电MEMS 加速度计研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2019
作者:  杨健
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可级联椭圆结构AlN BAW谐振器研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2019
作者:  杨帆
Adobe PDF(4558Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：391/8  |  提交时间：2019/11/12