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| 高精度MEMS陀螺仪与测控电路系统关键技术研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2022
作者: 胥鹏飞
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| 高精度MEMS陀螺仪与测控电路系统关键技术研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2022
作者: 胥鹏飞
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| 无权访问的条目 学位论文
作者: 赵俊元
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| 无权访问的条目 学位论文
作者: 陈泽基
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| 面向血压监测的微型MEMS压阻式压力传感器的研究与制备 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021
作者: 宋培帅
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| 基于硅-玻璃盖板的MEMS加速度计制备研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021
作者: 何昱蓉
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| 无权访问的条目 学位论文
作者: 王天昀
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| 高性能MEMS加速度计的研究与制备 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2020
作者: 张萌
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| MEMS陀螺仪接口和控制电路研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2020
作者: 苏言
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| 可级联椭圆结构AlN BAW谐振器研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2019
作者: 杨帆
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