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基于硅-玻璃盖板的MEMS加速度计制备研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021
作者:  何昱蓉
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高性能MEMS加速度计的研究与制备 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2020
作者:  张萌
Adobe PDF(5845Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：553/6  |  提交时间：2020/08/31
无权访问的条目 学位论文
作者:  马刘红
Adobe PDF(15150Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：349/4  |  提交时间：2016/06/02