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| N型注入4H-SiC脉冲激光退火激活研究 学位论文 , 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2022 作者: 武婧敏 Adobe PDF(5212Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:292/3  |  提交时间:2022/07/15 |
| 4H-SiC UMOSFET关键工艺研发 学位论文 , 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2019 作者: 刘敏 Adobe PDF(5200Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:495/21  |  提交时间:2019/11/18 |
| 固体脉冲激光器应用于非晶硅薄膜结晶的研究 学位论文 , 北京: 中国科学院大学, 2017 作者: 王帅 Adobe PDF(1904Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:640/18  |  提交时间:2017/06/01 |
| 脉冲激光退火制备Ni/SiC欧姆接触 学位论文 , 北京: 中国科学院研究生院, 2016 作者: 刘敏 Adobe PDF(2348Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:792/36  |  提交时间:2016/05/26 脉冲激光退火 Sic欧姆接触 数值模拟 接触特性 |
| 氮化铝MEMS谐振器关键技术研究 学位论文 , 北京: 中国科学院大学, 2015 作者: 杨健 Adobe PDF(3486Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:925/55  |  提交时间:2015/06/02 氮化铝 Mems 谐振器 有限单元法 压电系数测试 Icp刻蚀 |