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| Ⅲ族氮化物材料热壁化学气相沉积制备研究 学位论文
工学博士, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2023
作者: 牛慧丹
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| 金刚石光电器件数值模拟与工艺研究 学位论文
工学硕士, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2023
作者: 许敦洲
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| 锑化镓和砷化铟衬底的抛光损伤及晶格完整性研究 学位论文
工学硕士, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2023
作者: 冯银红
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| 电动汽车碳化硅功率芯片外延材料制备研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2022
作者: 汪久龙
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| 水平三层流 HVPE反应室流场和热场数值模拟计算研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2019
作者: 胡君
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| 感应加热式MOCVD设备的模拟仿真与研制 学位论文
, 北京: 中国科学院大学, 2018
作者: 梅书哲
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Mocvd 感应加热 温度均匀性 流场温场 建模仿真 |
| AlN厚膜单晶材料HVPE制备技术研究 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2016
作者: 韩东岳
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Aln Hvpe 应力 流场 |
| 1.55微米InP基量子点可调谐外腔激光器和锁模激光器研究 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2016
作者: 高凤
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| 蓝宝石衬底氮化铝材料HVPE生长研究 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2015
作者: 孔苏苏
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氮化铝 Hvpe 应力 |
| 4H-SiC快速外延生长研究 学位论文
, 北京: 中国科学院大学, 2015
作者: 刘斌
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4h-sic 碳化硅 快速外延生长 Fast Epitaxial Growth |
