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	ZnO基MEMS NO2 气体传感器的制备及性能优化研究学位论文工学硕士, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2023 作者: 卢晓锐 Adobe PDF(7894Kb) \| 收藏 \| 浏览/下载：173/1 \| 提交时间：2023/07/03
	Cu2Se 纳米薄膜制备及其热电性能研究学位论文 , 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021 作者: 杨亮亮 Adobe PDF(8890Kb) \| 收藏 \| 浏览/下载：325/1 \| 提交时间：2021/06/17
	硅微纳结构热电器件研究学位论文 , 北京: 中国科学院大学, 2015 作者: 祁洋洋 Adobe PDF(4058Kb) \| 收藏 \| 浏览/下载：853/49 \| 提交时间：2015/06/02 金属辅助化学腐蚀法 Si纳米线热电器件微纳结构

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