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中国科学院半导体研究所机构知识库
Knowledge Management System Of Institute of Semiconductors,CAS
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半导体集成技术工程... [11]
作者
解婧 [1]
宁瑾 [1]
李艳 [1]
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2021 [2]
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专题:半导体集成技术工程研究中心
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期刊论文
作者:
Ma, Dongfeng
;
Mao, Shengcheng
;
Teng, Jiao
;
Wang, Xinliang
;
Li, Xiaochen
;
Ning, Jin
;
Li, Zhipeng
;
Zhang, Qing
;
Tian, Zhiyong
;
Wang, Menglong
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Zhang, Ze
;
Han, Xiaodong
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提交时间:2022/03/23
无权访问的条目
期刊论文
作者:
Hu, Li-Bin
;
Huang, Xin-Yu
;
Zhang, Shan
;
Chen, Xue
;
Dong, Xian-Hui
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Jin, He
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Jiang, Zhen-Yu
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Gong, Xiao-Ran
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Xie, Yi-Xuan
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Li, Chen
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Chi, Zong-Tao
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Xie, Wan-Feng
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提交时间:2022/05/18
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期刊论文
作者:
Junqi Wang
;
Xiaoping Zou
;
Jialin Zhu
;
Jin Cheng
;
Dan Chen
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Xiao Bai
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Yujun Yao
;
Chuangchuang Chang
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Xing Yu
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Baoyu Liu
;
Zixiao Zhou
;
Guangdong Li
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提交时间:2021/06/17
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期刊论文
作者:
Xin Tong
;
Yan Su
;
Zhaofeng Li
;
Chaowei Si
;
Guowei Han
;
Jin Ning
;
Fuhua Yang
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提交时间:2021/11/30
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期刊论文
作者:
Xin Tong
;
Zhaofeng Li
;
Guowei Han
;
Nan Liu
;
Yan Su
;
Jin Ning
;
Fuhua Yang
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提交时间:2019/11/19
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期刊论文
作者:
Yan Su
;
Xin Tong
;
Nan Liu
;
Guowei Han
;
Chaowei Si
;
Jin Ning
;
Zhaofeng Li
;
Fuhua Yang
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提交时间:2019/11/12
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期刊论文
作者:
Xiaodong Wang
;
Shengcheng Mao
;
Peng Chen
;
Yinong Liu
;
Jin Ning
;
Haixin Li
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Ketao Zang
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Ze Zhang
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Xiaodong Han
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提交时间:2016/04/15
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期刊论文
作者:
Li, J.J
;
Zhao, C.W
;
Xing, Y.M
;
Hou, X.H
;
Fan, Z.C
;
Jin, Y.J
;
Wang, Y
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提交时间:2013/05/07
无权访问的条目
期刊论文
作者:
Cao LX (Cao Li-Xin)
;
Zhang FX (Zhang Feng-Xin)
;
Zhu YF (Zhu Yin-Fang)
;
Yang JL (Yang Jin-Ling)
;
Cao, LX, Chinese Acad Sci, Inst Phys, Natl Lab Superconduct, Beijing 100190, Peoples R China. 电子邮箱地址: lxcao@aphy.iphy.ac.cn
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提交时间:2010/11/02
采用光刻和干法刻蚀制作倾斜侧壁二氧化硅结构的方法
专利
专利类型: 发明, 专利号: CN200910081983.5, 公开日期: 2011-08-31
发明人:
唐龙娟
;
杨晋玲
;
解婧
;
李艳
;
杨富华
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提交时间:2011/08/31