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| 高精度MEMS陀螺仪与测控电路系统关键技术研究 学位论文 , 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2022 作者: 胥鹏飞![](/image/person.jpg)
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| 高精度MEMS陀螺仪与测控电路系统关键技术研究 学位论文 , 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2022 作者: 胥鹏飞![](/image/person.jpg)
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| 无权访问的条目 学位论文 作者: 赵俊元
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| 无权访问的条目 学位论文 作者: 刘美杰
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| 无权访问的条目 学位论文 作者: 陈泽基
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| 无权访问的条目 学位论文 作者: 付登源
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| 谐振型集成光学陀螺仪系统研究 学位论文 , 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021 作者: 何玉铭![](/image/person.jpg)
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| 基于硅-玻璃盖板的MEMS加速度计制备研究 学位论文 , 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021 作者: 何昱蓉
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| 无权访问的条目 期刊论文 作者: He, Yuming; Lu, Ziqing; Kuai, Xuebao; Feng, Zuo; Han, Weihua; Li, Zhaofeng; Yan, Wei; Yang, Fuhua
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| 无权访问的条目 期刊论文 作者: Xu, Pengfei; Wei, Zhenyu; Jia, Lu; Zhao, Yongmei; Han, Guowei; Si, Chaowei; Ning, Jin; Yang, Fuhua
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