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| ZnO基MEMS NO2 气体传感器的制备及性能优化研究 学位论文 工学硕士, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2023 作者: 卢晓锐 Adobe PDF(7894Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:567/1  |  提交时间:2023/07/03 |
| 血压监测 MEMS 压力传感器制备及可植入封装 学位论文 工程硕士, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2023 作者: 尤志伟 Adobe PDF(8420Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:643/1  |  提交时间:2023/07/03 |
| 基于Al-Sc触点MEMS开关的移相器研究 学位论文 工学硕士, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2023 作者: 张永康 Adobe PDF(5185Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:570/0  |  提交时间:2023/07/03 |
| 硅纳米线晶体管量子输运特性及其传感器应用研究 学位论文 , 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2022 作者: 郭仰岩 Adobe PDF(7696Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:437/2  |  提交时间:2022/07/26 |
| 硅纳米线晶体管量子输运特性及其传感器应用研究 学位论文 , 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2022 作者: 郭仰岩 Adobe PDF(7696Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:424/0  |  提交时间:2022/07/25 |
| 无权访问的条目 学位论文 作者: 付登源 Adobe PDF(5211Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:0/0  |  提交时间:2021/06/17 |
| 面向血压监测的微型MEMS压阻式压力传感器的研究与制备 学位论文 , 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021 作者: 宋培帅 Adobe PDF(4880Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:468/3  |  提交时间:2021/06/18 |
| 基于硅-玻璃盖板的MEMS加速度计制备研究 学位论文 , 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021 作者: 何昱蓉 Adobe PDF(4765Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:476/0  |  提交时间:2021/06/16 |
| 面向宽带高效线性响应的硅基复合波导电光调制器的研究 学位论文 , 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2020 作者: 匡迎新 Adobe PDF(5680Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:651/20  |  提交时间:2020/09/22 |
| 高性能MEMS加速度计的研究与制备 学位论文 , 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2020 作者: 张萌 Adobe PDF(5845Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:727/6  |  提交时间:2020/08/31 |