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| 无权访问的条目 期刊论文 作者: You JB; Zhang XW; Song HP; Ying J; Guo Y; Yang AL; Yin ZG; Chen NF; Zhu QS; You JB Chinese Acad Sci Inst Semicond Key Lab Semicond Mat Sci Beijing 100083 Peoples R China. E-mail Address: jbyou@semi.ac.cn Adobe PDF(420Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:2053/637  |  提交时间:2010/03/08 |
| 磁控溅射方法制备碳化硅薄膜工艺 专利 专利类型: 发明, 申请日期: 2005-03-16, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11 发明人: 陈诺夫; 杨霏; 尹志岗; 柴春林; 吴金良 Adobe PDF(238Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1185/152  |  提交时间:2009/06/11 |
| 磁控溅射靶的制造方法及该方法使用的模具 专利 专利类型: 发明, 申请日期: 2005-01-26, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11 发明人: 尹志岗; 杨霏; 陈诺夫; 吴金良; 柴春林 Adobe PDF(389Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1118/181  |  提交时间:2009/06/11 |
| 无权访问的条目 期刊论文 作者: Yin ZG; Chen NF; Yang F; Song SL; Chai CL; Zhong J; Qian HJ; Ibrahim K; Yin, ZG, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, Key Lab Semicond Mat Sci, POB 912, Beijing 100083, Peoples R China. 电子邮箱地址: yzhg@red.semi.ac.cn Adobe PDF(346Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1226/380  |  提交时间:2010/03/17 |
| 无权访问的条目 期刊论文 作者: 刘力锋; 陈诺夫; 尹志岗; 杨霏; 周剑平; 张富强 Adobe PDF(467Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:830/239  |  提交时间:2010/11/23 |