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	湿法腐蚀两步法制备超薄柔性硅衬底的腐蚀工艺专利专利类型: 发明, 申请日期: 2005-11-16, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11 发明人: 王晓峰; 曾一平; 孙国胜; 黄风义; 王雷; 赵万顺 Adobe PDF(537Kb) \| 收藏 \| 浏览/下载：1321/189 \| 提交时间：2009/06/11
	无权访问的条目期刊论文作者: 张国强; 刘忠立; 李宁; 范楷; 郑中山; 张恩霞; 易万兵; 陈猛; 王曦 Adobe PDF(224Kb) \| 收藏 \| 浏览/下载：941/230 \| 提交时间：2010/11/23
	无权访问的条目期刊论文作者: 郑中山; 刘忠立; 张国强; 李宁; 范楷; 张恩霞; 易万兵; 陈猛; 王曦 Adobe PDF(530Kb) \| 收藏 \| 浏览/下载：866/213 \| 提交时间：2010/11/23
	无权访问的条目期刊论文作者: 高欣; 孙国胜; 李晋闽; 赵万顺; 王雷; 张永兴; 曾一平 Adobe PDF(493Kb) \| 收藏 \| 浏览/下载：860/251 \| 提交时间：2010/11/23

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