中国科学院半导体研究所机构知识库(SEMI OpenIR): 检索

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	无权访问的条目期刊论文作者: 井红旗; 王翠鸾; 吴霞; 赵懿昊; 王鑫; 林楠; 仲莉; 刘素平; 马骁宇 Adobe PDF(5212Kb) \| 收藏 \| 浏览/下载：507/7 \| 提交时间：2017/03/16
	无权访问的条目期刊论文作者: 李国余; 张冶金; 李小健; 田立林 Adobe PDF(517Kb) \| 收藏 \| 浏览/下载：1116/376 \| 提交时间：2011/08/16
	无权访问的条目期刊论文作者: 胡理科; 祁琼; 熊聪; 王冠; 崇锋; 刘素平; 马骁宇 Adobe PDF(679Kb) \| 收藏 \| 浏览/下载：2131/409 \| 提交时间：2011/08/04
	无权访问的条目期刊论文作者: 钟立志; 张维佳; 崔敏; 吴小文; 李国华; 丁琨 Adobe PDF(261Kb) \| 收藏 \| 浏览/下载：1150/334 \| 提交时间：2010/11/23
	无权访问的条目期刊论文作者: 魏红振; 余金中; 张小峰; 刘忠立; 史伟; 房昌水 Adobe PDF(195Kb) \| 收藏 \| 浏览/下载：755/272 \| 提交时间：2010/11/23
	无权访问的条目期刊论文作者: 刘国利; 张佰君; 朱洪亮; 张静媛; 汪孝杰; 王圩 Adobe PDF(192Kb) \| 收藏 \| 浏览/下载：769/334 \| 提交时间：2010/11/23
	无权访问的条目期刊论文作者: 张佰君; 衣茂斌; 李德辉; 申智渊; 高鼎三; 马晓宇 Adobe PDF(198Kb) \| 收藏 \| 浏览/下载：822/279 \| 提交时间：2010/11/23

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