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ZnO基MEMS NO2 气体传感器的制备及性能优化研究 学位论文
工学硕士, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2023
作者:  卢晓锐
Adobe PDF(7894Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：576/1  |  提交时间：2023/07/03
血压监测 MEMS 压力传感器制备及可植入封装 学位论文
工程硕士, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2023
作者:  尤志伟
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基于Al-Sc触点MEMS开关的移相器研究 学位论文
工学硕士, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2023
作者:  张永康
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高精度MEMS陀螺仪与测控电路系统关键技术研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2022
作者:  胥鹏飞
Adobe PDF(10317Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：383/2  |  提交时间：2022/07/15
高精度MEMS陀螺仪与测控电路系统关键技术研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2022
作者:  胥鹏飞
Adobe PDF(10317Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：639/2  |  提交时间：2022/07/25