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中国科学院半导体研究所机构知识库
Knowledge Management System Of Institute of Semiconductors,CAS
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无权访问的条目
期刊论文
作者:
Zhou, BQ
;
Zhu, MF
;
Liu, FZ
;
Liu, JL
;
Zhou, YQ
;
Li, GH
;
Ding, K
;
Zhou, BQ, Inner Mongolia Normal Univ, Coll Phys & Elect Informat, Hohhot 010022, Peoples R China. 电子邮箱地址: zhoubq@imnu.edu.cn
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提交时间:2010/03/08
Structural evaluation of polycrystalline silicon thin films by hot-wire-assisted PECVD
会议论文
THIN SOLID FILMS, 395 (1-2), KANAZAWA, JAPAN, NOV 14-17, 2000
作者:
Feng Y
;
Zhu M
;
Liu F
;
Liu J
;
Han H
;
Han Y
;
Zhu M Chinese Acad Sci Grad Sch Dept Phys POB 3908 Beijing 100039 Peoples R China.
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提交时间:2010/11/15
Poly-si
Structure
Hot-wire
Plasma-enhanced Chemical Vapor Deposition (Pecvd)
Chemical-vapor-deposition
Microcrystalline Silicon
Hydrogen
无权访问的条目
期刊论文
作者:
Feng Y
;
Zhu M
;
Liu F
;
Liu J
;
Han H
;
Han Y
;
Zhu M,Chinese Acad Sci,Grad Sch,Dept Phys,POB 3908,Beijing 100039,Peoples R China.
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提交时间:2010/08/12