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GaAs/Si低温直接键合技术研究 学位论文
, 北京: 中国科学院大学, 2017
作者:  刘雨生
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Gaas/si  直接键合  低温  等离子体活化  
无权访问的条目 期刊论文
作者:  Shuyuan Zhang;  Min Liu;  Wen Liu;  Zhaofeng Li;  Yusheng Liu;  Xiaodong Wang;  Fuhua Yang
Adobe PDF(1513Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：281/2  |  提交时间：2018/07/02