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| 基于硅-玻璃盖板的MEMS加速度计制备研究 学位论文 , 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021 作者: 何昱蓉 Adobe PDF(4765Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:592/0  |  提交时间:2021/06/16 |
| 无权访问的条目 期刊论文 作者: He, Yurong; Si, Chaowei; Han, Guowei; Zhao, Yongmei; Ning, Jin; Yang, Fuhua Adobe PDF(3973Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:0/0  |  提交时间:2022/11/03 |
| 无权访问的条目 期刊论文 作者: Xu, Pengfei; Si, Chaowei; He, Yurong; Wei, Zhenyu; Jia, Lu; Han, Guowei; Ning, Jin; Yang, Fuhua Adobe PDF(10261Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:0/0  |  提交时间:2022/05/09 |
| 无权访问的条目 期刊论文 作者: Peishuai Song; Chaowei Si; Mingliang Zhang; Yongmei Zhao; Yurong He; Wen Liu; Xiaodong Wang Adobe PDF(3333Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:0/0  |  提交时间:2021/12/16 |
| 无权访问的条目 期刊论文 作者: Meng Zhang; Jian Yang; Yurong He; Fan Yang; Yongmei Zhao; Fen Xue; Guowei Han; Chaowei Si; Jin Ning Adobe PDF(8646Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:42/0  |  提交时间:2020/08/05 |
| 无权访问的条目 期刊论文 作者: Meng Zhang; Jian Yang ; Yurong He ; Fan Yang ; Fuhua Yang ; Guowei Han ; Chaowei Si; Jin Ning Adobe PDF(3329Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:60/0  |  提交时间:2020/08/05 |
| 无权访问的条目 期刊论文 作者: Jian Yang; Meng Zhang; Yurong He; Yan Su ; Guowei Han ; Chaowei Si ; Jin Ning; Fuhua Yang ; Xiaodong Wang Adobe PDF(6047Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:54/0  |  提交时间:2020/08/05 |