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Structural properties of polycrystalline silicon films formed by pulsed rapid thermal processing 会议论文
AMORPHOUS AND MICROCRYSTALLINE SILICON TECHNOLOGY-1998, 507, SAN FRANCISCO, CA, APR 14-17, 1998
作者:  Wang YQ;  Liao XB;  Diao HW;  He J;  Ma ZX;  Yue GZ;  Shen SR;  Kong GL;  Zhao YW;  Li ZM;  Yun F;  Wang YQ Chinese Acad Sci Inst Semicond State Lab Surface Phys POB 912 Beijing 100083 Peoples R China.
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Amorphous-silicon  Crystallization  Transistors