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湿法腐蚀两步法制备超薄柔性硅衬底的腐蚀工艺 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2005-11-16, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
发明人:  王晓峰;  曾一平;  孙国胜;  黄风义;  王雷;  赵万顺
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制备纳米级超薄硅可协变衬底的可控性腐蚀法 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2005-10-12, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
发明人:  王晓峰;  曾一平;  黄风义;  王保强;  朱占平
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Huang FY;  Wang XF;  Sun GS;  Zhao WS;  Zeng YP;  Bian EL;  Huang, FY, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, 35 E Qinghua Rd, Beijing 100083, Peoples R China. 电子邮箱地址: fyhuang@seu.edu.cn
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  王晓峰;  王雷;  赵万顺;  孙国胜;  黄风义;  曾一平
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