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中国科学院半导体研究所机构知识库
Knowledge Management System Of Institute of Semiconductors,CAS
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期刊论文
作者:
Jiao, Jian
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Tan, Manqing
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Zhao, Miao
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Chang, Jinlong
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提交时间:2013/04/22
提高硅薄膜致密性的制备方法
专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2007-03-28, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
发明人:
谭满清
;
赵妙
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提交时间:2009/06/11
无权访问的条目
期刊论文
作者:
赵妙
;
谭满清
;
周代兵
;
吴旭明
;
王晓东
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浏览/下载:936/376
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提交时间:2010/11/23
无权访问的条目
期刊论文
作者:
赵妙
;
周代兵
;
谭满清
;
王晓东
;
吴旭明
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浏览/下载:984/242
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提交时间:2010/11/23
无权访问的条目
期刊论文
作者:
王亲猛
;
刘赵淼
;
罗木昌
Adobe PDF(474Kb)
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浏览/下载:648/166
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提交时间:2010/11/23