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中国科学院半导体研究所机构知识库
Knowledge Management System Of Institute of Semiconductors,CAS
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期刊论文
作者:
Ding JQ (Ding, Jieqin)
;
Wang XL (Wang, Xiaoliang)
;
Xiao HL (Xiao, Hongling)
;
Wang CM (Wang, Cuimei)
;
Yin HB (Yin, Haibo)
;
Chen H (Chen, Hong)
;
Feng C (Feng, Chun)
;
Jiang LJ (Jiang, Lijuan)
Adobe PDF(554Kb)
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浏览/下载:1021/286
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提交时间:2013/03/27
无权访问的条目
期刊论文
作者:
Deng QW
;
Wang XL
;
Xiao HL
;
Wang CM
;
Yin HB
;
Chen H
;
Hou QF
;
Lin DF
;
Li JM
;
Wang ZG
;
Hou X
Adobe PDF(623Kb)
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浏览/下载:1526/491
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提交时间:2011/07/07
无权访问的条目
期刊论文
作者:
Deng QW
;
Wang XL
;
Yang CB
;
Xiao HL
;
Wang CM
;
Yin HB
;
Hou QF
;
Li JM
;
Wang ZG
;
Hou X
;
Deng, QW, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, Ctr Mat Sci, POB 912, Beijing 100083, Peoples R China. daven@semi.ac.cn
Adobe PDF(459Kb)
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浏览/下载:2271/623
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提交时间:2011/07/05
无权访问的条目
期刊论文
作者:
Zhang XB
;
Wang XL
;
Xiao HL
;
Yang CB
;
Hou QF
;
Yin HB
;
Chen H
;
Wang ZG
;
Zhang, XB, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, Ctr Mat Sci, POB 912, Beijing 100083, Peoples R China. soffeezxb@163.com
Adobe PDF(606Kb)
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浏览/下载:2005/513
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提交时间:2011/07/05
无权访问的条目
期刊论文
作者:
Deng QW
;
Wang XL
;
Yang CB
;
Xiao HL
;
Wang CM
;
Yin HB
;
Hou QF
;
Bi Y
;
Li JM
;
Wang ZG
;
Hou X
;
Deng, QW, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, Ctr Mat Sci, POB 912, Beijing 100083, Peoples R China. daven@semi.ac.cn
Adobe PDF(1060Kb)
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浏览/下载:2207/481
  |  
提交时间:2011/07/05
无权访问的条目
期刊论文
作者:
Yin, Haibo
;
Wang, Xiaoliang
;
Ran, Junxue
;
Hu, Guoxin
;
Zhang, Lu
;
Xiao, Hongling
;
Li, Jing
;
Li, Jinmin
;
Yin, H.(hbyin@semi.ac.cn)
Adobe PDF(1040Kb)
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浏览/下载:1045/232
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提交时间:2012/06/14
MOCVD设备研制及氮化物材料生长研究
学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2010
作者:
殷海波
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浏览/下载:2602/251
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提交时间:2010/06/08
用于金属有机物化学沉积设备的扇形进气喷头
专利
专利类型: 发明, 专利号: CN201010033960.X, 公开日期: 2011-08-31, 2011-08-31, 2011-08-31
发明人:
胡国新
;
王晓亮
;
冉军学
;
肖红领
;
殷海波
;
张露
;
李晋闽
Adobe PDF(346Kb)
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浏览/下载:1477/177
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提交时间:2011/08/31
用于金属有机物化学沉积设备的衬托盘及其制作工艺
专利
专利类型: 发明, 专利号: CN201010033965.2, 公开日期: 2011-08-31
发明人:
殷海波
;
王晓亮
;
胡国新
;
冉军学
;
肖红领
;
张露
;
李晋闽
Adobe PDF(510Kb)
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浏览/下载:1650/239
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提交时间:2011/08/31
用于金属有机物化学沉积设备的气路装置
专利
专利类型: 发明, 专利号: CN201010033967.1, 公开日期: 2011-08-31
发明人:
冉军学
;
王晓亮
;
胡国新
;
肖红领
;
张露
;
殷海波
;
李晋闽
Adobe PDF(417Kb)
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浏览/下载:1564/254
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提交时间:2011/08/31