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基于四方相ZrO2缺陷的DRAM电容器可靠性研究 学位论文
理学硕士, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2023
作者:  李广卓
Adobe PDF(3295Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:508/0  |  提交时间:2023/07/03